مضخة مع مساعدة فراغ

تشير المضخة الأولية الجافة مع مساعدة التفريغ (يشار إليها أيضًا باسم المضخة الميكانيكية الجافة) إلى أن المضخة يمكن أن تبدأ في الضخ تحت الضغط الجوي، ويمكن ضخها مباشرة في الغلاف الجوي إلى غرفة المضخة بدون زيت أو وسائط عمل أخرى، والمضخة مضخة التفريغ ذات الضغط والزيت المكافئة أو القريبة من مضخة التفريغ الميكانيكية. إن تطبيق مضخة التفريغ الجافة واسع النطاق، خاصة في الجوانب التالية: 1) في عملية تحضير البولي سيليكون في ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط؛ 2) عملية النقش بأشباه الموصلات. غالبًا ما يتم استخدام أو توليد الغازات المسببة للتآكل والجسيمات الكاشطة في عمليات الإنتاج هذه؛ 3) بالإضافة إلى بعض العمليات التي تنتج جزيئات غير عمليات أشباه الموصلات، لا يتوقع أن تختلط الجزيئات في زيت المضخة، ومن المؤمل أن يتم تفريغ الجزيئات من المضخة، ثم نوع معين من الفراغ الميكانيكي الجاف المضخة يمكن أن تلبي المتطلبات؛ 4) في الصناعة الكيميائية، وصناعة الأدوية، وصناعة الأغذية في التقطير، والتجفيف، وإزالة الرغوة، والتعبئة والتغليف، وما إلى ذلك، لمنع التلوث الناجم عن المذيبات العضوية، ومناسبة لمضخة فراغ الجافة؛ 5) تستخدم كمضخة أمامية لنظام الفراغ النظيف العام الخالي من الزيت لمنع التلوث الزيتي.